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リファブ実績「査定・買取・解体・輸送・保管リファビッシュ・改造・性能保証販売・アフターサービスまで中古機ビジネスをトータルに提供いたします。」

弊社のリファブご紹介

1. 装置架台・パネル再塗装
2. 水冷・圧空配管交換
3. ポンプオーバーホール
4. チャンバー洗浄・表面処理
5. カソード部品交換
6. チャンバー内部防着板洗浄・表面処理
7. Ｏリング全交換

1. RF→DC電源に交換
2. 基板ホルダー新規設計
3. クライオポンプ追加（欠品であったため）

1. 電離真空計リコール内容修理
2. シーケンサー載せ換え
　（生産中止品のアップグレード）

ロールオーバーでリファブ前の装置画像をご覧いただけます

装置架台パネル再塗装
元のユーザー様が貼っていた社内シール等を
きれいに剥がしてパネル全面再塗装、架台再塗装しました。

装置架台パネル再塗装

チャッキ弁、フローメーター、アマックホース、水冷ホース、コネクタを全品取り外して新品に交換しています。

チャッキ弁、フローメーター、アマックホース、水冷ホース、コネクタ

アルバック九州ポンプセンターにて
オーバーホールを行いました。

ポンプセンターにてオーバーホール作業

ロールオーバーでリファブ前の装置画像をご覧いただけます

チャンバー洗浄・表面処理

チャンバーを下ろして、洗浄・GBB再処理を実施しました。また、ベークヒーターが欠品であったため新規手配し、組み付けました。

チャンバー洗浄

チャンバー洗浄

ロールオーバーでリファブ前の装置画像をご覧いただけます

チャンバー洗浄・表面処理

チャンバーを下ろして、洗浄・GBB再処理を実施しました。また、ベークヒーターが欠品であったため新規手配し、組み付けました。

カソード部品交換

カソード部品交換

ロールオーバーでリファブ前の装置画像をご覧いただけます

カソード部品交換

マグネトロンカソードのマグネット新品交換、水冷部洗浄を行いました。

チャンバー内部看板洗浄表面処理

チャンバー内部看板洗浄表面処理

通常は写真のような基板回転機構部などの稼動部のＯリングは劣化があるため新品に交換します。
今回は、全体的に装置コンディションがよくなかったため、全てのOリングを交換しました。

リング交換

RF電源仕様をDC電源仕様に改造しました。ここでもDC電源は中古を搭載しています。予算に応じて、新品搭載も可能です。

RFからDC電源に交換

基板形状・サイズに合わせて
設計・製作しています。

基板ホルダー新規設計

クライオポンプが欠品であったためULVAC製U-12HSP中古を追加搭載しました。予算に応じて新品の搭載も可能です。

クライオポンプ追加

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