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業務概要 [マテリアル生産本部]
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時代をつくる 材料をつくる
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最新の製造技術による万全の供給体制で、
未来の薄膜材料をリードします。
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1982年、当時シリコンアイランドと呼ばれた九州で、半導体デバイス用のスパッタリングターゲットの製造を開始。以来、真空溶解法などの最新の製造技術を使ったアルミ合金材料や、薄型テレビに代表されるフラットパネルディスプレイ用の透明導電膜(ITO)などの成膜材料を、原材料からボンディングまで、一貫製造で供給できる体制を構築しています。

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薄膜形成の不可欠技術─スパッタ法
薄膜形成の不可欠技術 薄膜をつくりだす代表的な方法がスパッタリング(スパッタ法)で、その技術は蛍光灯の両端が黒くなる現象を応用したものです。はじき飛ばすことを英語で“スパッタ”ということからその名前がつけられました。

(1) 真空中でイオンがターゲットに衝突
(2) はじき飛ばされた材料
(3) 基板上に薄膜を形成
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真空を利用した製造 不純物やガス成分の少ない高純度のターゲット材を、真空技術を利用した独自のプロセスで製造しています。 真空溶解炉、真空ホットプレス
真空溶解炉 真空ホットプレス


機械加工・ボンディング ターゲット材は、マシニングセンターなどを用い精密加工を行っています。またターゲット材とバッキングプレート(冷却板)をロー材を使ってボンディング(接合)しています。機械加工、超音波探傷装置(ボンディング検査)
機械加工 超音波探傷装置
(ボンディング検査)


品質管理 ターゲット材の組成・純度分析などを行うための高度な分析・検査装置を保有し、万全の品質管理体制をとっています。GDMS分析装置、検査風景
GDMS分析装置 検査風景





製品のご紹介
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マテリアル生産本部では、フラットパネルディスプレイ用、薄膜電池用、半導体用などのターゲット(材料)を製造しております。
なお、製品の詳細につきましては、各バナーをクリックし、株式会社アルバックのホームページをご覧下さい。

マテリアル生産本部 商品
フラットパネルディスプレイ用
ITOターゲット
薄膜電池・
誘電体ターゲット
半導体
アルミターゲット

・各種ターゲット(材料) 詳細は株式会社アルバックのホームページへ




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