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排気速度で選ぶ

  • ~300ℓ/min
  • 300~1500ℓ/min
  • 1500~2500ℓ/min
  • 2500ℓ/min~

~300 ℓ/min

PVDシリーズ(汎用ベーン型小型2段式)

【排気速度】

50Hz→155ℓ/min 60Hz→186ℓ/min

油回転ポンプPVD-180(B)

300~1500ℓ/min

PVDシリーズ(汎用ベーン型小型2段式)

【排気速度】

50Hz→310ℓ/min 60Hz→372ℓ/min

油回転真空ポンプPVD-360(B)

VDシリーズ Ver.C(ベーン型小型2段式)

【排気速度】

50Hz→500~1,000ℓ/min

60Hz→600~1,200ℓ/min

油回転真空ポンプVD30C/40C/60C

GRシリーズ(一般産業用)

【排気速度】

50Hz→1,030ℓ/min 60Hz→1,333ℓ/min

ドライ真空ポンプGR60A

LR/HR/URシリーズ(半導体液晶装置用)

【排気速度】

50Hz→1,030ℓ/min 60Hz→1,333ℓ/min

ドライ真空ポンプLR/HR60

1500~2500ℓ/min

VDシリーズ Ver.C(ベーン型小型2段式)

【排気速度】

50Hz→1,500ℓ/min  60Hz→1,800ℓ/min

油回転真空ポンプVD90C

PKSシリーズ(堅牢キニー型大型1段式)

【排気速度】

50/60Hz→1,600ℓ/min

油回転真空ポンプPKS-016

PMBシリーズ Ver.D(汎用モータ)

【排気速度】

50Hz→1,580ℓ/min 60Hz→1,920ℓ/min

メカニカルブースターポンプPMB100D

GRシリーズ(一般産業用)

【排気速度】

50Hz→1,860ℓ/min 60Hz→2,100ℓ/min

ドライ真空ポンプGR90A

LR/HR/URシリーズ(半導体液晶装置用)

【排気速度】

50Hz→1,860ℓ/min 60Hz→2,100ℓ/min

ドライ真空ポンプLR/HR90

VSシリーズ(ベーン型中型1段式)

【排気速度】

50Hz→2,500ℓ/min 60Hz→3,000ℓ/min

油回転真空ポンプVS1501

2500ℓ/min

PKSシリーズ(堅牢キニー型大型1段式)

【排気速度】

50/60Hz→3,000~7,000ℓ/min

油回転真空ポンプPKS-030/070

GRシリーズ(一般産業用)

【排気速度】

50Hz→3,100ℓ/min 60Hz→3,950ℓ/min

ドライ真空ポンプGR180A

VSシリーズ(ベーン型中型1段式)

【排気速度】

50Hz→4,000ℓ/min 60Hz→4,800ℓ/min

油回転真空ポンプVS2401

PRCシリーズ(高気密性モータ)

【排気速度】

50Hz→4,670~25,000ℓ/min

60Hz→5,500~30,000ℓ/min

メカニカルブースターポンプPRC-003A/006A/012A/018A

PMBシリーズ Ver.D(汎用モータ)

【排気速度】

50Hz→4,670~33,330ℓ/min

60Hz→5,500~40,000ℓ/min

メカニカルブースターポンプPMB300D/600D/1200D/2400D

LR/HR/URシリーズ(半導体液晶装置用)

【排気速度】

50Hz→3,100~53,333ℓ/min

60Hz→3,950~53,333ℓ/min

ドライ真空ポンプ・LR180/421/421-T/1800/3601/3601-T(TT)/3601-R/3601-TR(TTR)
・UR421-T/600/1200/1800/3601-TT
・LR,HR300/600/1200