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到達圧力で選ぶ

  • 5.3Pa~2.7Pa
  • 0.67Pa~0.4Pa

5.3Pa~2.7Pa

VSシリーズ(ベーン型中型1段式)

【到達圧力】5.3Pa

【油回転ポンプ】VS1501/2401

GRシリーズ(一般産業用)

【到達圧力】5.0Pa

【ドライ真空ポンプ】GR60A/90A/180A

LR/HR/URシリーズ(半導体液晶装置用)

【到達圧力】5.0Pa

【ドライ真空ポンプ】・LR180/421/421-T
・UR421-T ・LR,HR60/90

PKSシリーズ(堅牢キニー型大型1段式)

【到達圧力】2.7Pa

【油回転真空ポンプ】PKS-016/030/070

0.67Pa~0.4Pa

PVDシリーズ(汎用ベーン型小型2段式)

【到達圧力】0.67Pa

【油回転真空ポンプ】PVD-018(B)/360(B)

VDシリーズ Ver.C(ベーン型小型2段式)

【到達圧力】0.67Pa

【油回転真空ポンプ】
VD30C/40C/60C/90C

LR/HR/URシリーズ(半導体液晶装置用)

【到達圧力】0.67Pa

【ドライ真空ポンプ】・LR1800/3601/3601-T(TT)/3601-R/3601-TR(TTR)
・UR600/1200/1800/3601-TT
・LR,HR300/600/1200

PRCシリーズ(高気密性モータ)

【到達圧力】0.67~0.4Pa

【メカニカルブースターポンプ】
PRC-003A/006A/012A/018A

PMBシリーズ Ver.D(汎用モータ)

【到達圧力】0.67~0.4Pa

【メカニカルブースターポンプ】
PMB100D/300D/600D/1200D/2400D