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ドライ真空ポンプ

  • GRシリーズ(一般産業用)
  •  
  • LR/HR/URシリーズ(半導体液晶装置用)
     
     

油回転真空ポンプ

  • VDシリーズ Ver.C(ベーン型小型2段式)
  • VSシリーズ(ベーン型中型1段式)
  • PVDシリーズ(汎用ベーン型小型2段式)
  • PKSシリーズ(堅牢キニー型大型1段式)
     

メカニカルブースターポンプ

  • PRCシリーズ(高気密性モータ)
  • PMBシリーズ Ver.D(汎用モータ)
     

真空ポンプ オプション部品

  • ダスト・フィルタDSシリーズ
  • 真空配管部品
  • オイルミストトラップTM/TMXシリーズ