真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

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ご希望の真空機器をお作りします

ご希望に合わせて真空機器の設計・製作をいたします。

  • 製造ラインに真空技術を取り入れてみたい。

    製造ラインの一部に吸着パッドを導入したい。

  • 真空装置の更新やバージョンアップをしたい。

    真空ポンプを変えて、より高真空にしたい。

  • 真空中で使用できる研究用品、ユニットを探している。

    蒸発源上部に開閉式のシャッターを取り付けたい。

真空機器の設計・製作実例

実際の装置に使用した真空機器(アッセンブリー・ユニット)の一例をご紹介。
動画でご覧下さい。

スパッタチャンバー

各種材料、構造、表面処理等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

排気セット

排気ポンプの種類、ポンプ設置場所、配管サイズ、表面処理等、ご要望応じて設計・製作いたします。

排気セット2

排気ポンプの種類、ポンプ設置場所、配管サイズ、表面処理等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

2インチシャッタ機構

シャッターの各種サイズ、機構等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

シャッタ付き覗き窓

覗き窓の構造、シャッターの各種サイズ、機構等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

搬送室

各種材料、構造、表面処理等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

ロードロック室

各種材料、構造、表面処理等、ご要望に応じて設計・製作いたします。

真空機器(アッセンブリー・ユニット)をお客様のご要望に応じて設計・製作いたします。

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