真空ポンプを排気速度で選ぶ

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排気速度で選ぶ

～300 ℓ/min 300～1500 ℓ/min 1500～2500 ℓ/min 2500 ℓ/min～

～300 ℓ/min

ＰＶＤシリーズ
（汎用ベーン型小型２段式）

【排気速度】
50Hz→155ℓ/min　60Hz→186ℓ/min

【油回転ポンプ】PVD-180（B）

300～1500 ℓ/min

ＰＶＤシリーズ
（汎用ベーン型小型２段式）

【排気速度】
50Hz→310ℓ/min　60Hz→372ℓ/min

【油回転ポンプ】PVD-360（B）

ＶＤシリーズＶｅｒ．Ｃ
（ベーン型小型２段式）

【排気速度】
50Hz→500～1,000ℓ/min
60Hz→600～1,200ℓ/min

【油回転真空ポンプ】VD30C/40C/60C

ＧＲシリーズ
（一般産業用）

【排気速度】
50Hz→1,030ℓ/min　60Hz→1,333ℓ/min

【ドライ真空ポンプ】GR60A

LR/HR/URシリーズ
（半導体液晶装置用）

【排気速度】
50Hz→1,030ℓ/min　60Hz→1,333ℓ/min

【ドライ真空ポンプ】LR/HR60

1500～2500 ℓ/min

ＶＤシリーズＶｅｒ．Ｃ
（ベーン型小型２段式）

【排気速度】
50Hz→1,500ℓ/min　60Hz→1,800ℓ/min

【油回転真空ポンプ】VD90C

ＰＫＳシリーズ
（堅牢キニー型大型１段式）

【排気速度】
50/60Hz1,600ℓ/min

【油回転真空ポンプ】PKS-016

ＰＭＢシリーズＶｅｒ．Ｄ
（汎用モータ）

【排気速度】
50Hz→1,580ℓ/min　60Hz→1,920ℓ/min

【メカニカルブースターポンプ】PMB100D

ＧＲシリーズ
（一般産業用）

【排気速度】
50Hz→1,860ℓ/min　60Hz→2,100ℓ/min

【ドライ真空ポンプ】GR90A

LR/HR/URシリーズ
（半導体液晶装置用）

【排気速度】
50Hz→1,860ℓ/min　60Hz→2,100ℓ/min

【ドライ真空ポンプ】LR/HR90

ＶＳシリーズ
（ベーン型中型１段式）

【排気速度】
50Hz→2,500ℓ/min　60Hz→3,000ℓ/min

【油回転真空ポンプ】VS1501

2500 ℓ/min～

ＰＫＳシリーズ
（堅牢キニー型大型１段式）

【排気速度】
50/60Hz→3,000～7,000ℓ/min

【油回転真空ポンプ】PKS-030/070

ＧＲシリーズ
（一般産業用）

【排気速度】
50Hz→3,100ℓ/min　60Hz→3,950ℓ/min

【ドライ真空ポンプ】GR180A

ＶＳシリーズ
（ベーン型中型１段式）

【排気速度】
50Hz→4,000ℓ/min　60Hz→4,800ℓ/min

【油回転真空ポンプ】VS2401

ＰＲＣシリーズ
（高気密性モータ）

【排気速度】
50Hz→4,670～25,000ℓ/min
60Hz→5,500～30,000ℓ/min

【メカニカルブースターポンプ】
PRC-003A/006A/012A/018A

ＰＭＢシリーズＶｅｒ．Ｄ
（汎用モータ）

【排気速度】
50Hz→4,670～33,330ℓ/min
60Hz→5,500～40,000ℓ/min

【メカニカルブースターポンプ】
PMB300D/600D/1200D/2400D

LR/HR/URシリーズ
（半導体液晶装置用）

【排気速度】
50Hz→3,100～53,333ℓ/min
60Hz→3,950～53,333ℓ/min

【ドライ真空ポンプ】
・LR180/421/421-T/1800/3601/
　3601-T(TT)/3601-R/3601-TR(TTR)
・UR421-T/600/1200/1800/3601-TT
・LR,HR300/600/1200