真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

匠が生み出すマテリアル

マテリアルとは!?

匠が生み出すマテリアル。マテリアル!マテリアル?マテリアルってどういう意味なんでしょうか?
辞書で調べると、物質・材料・原料と出てきます。材料ですね。イメージしやすい言葉としては。和製英語というのか、日本では、材料を取り扱う企業の一部としてマテリアルという言葉が使われています。
同様にこの「匠が生み出すマテリアル」では、アルバック九州で作られるマテリアル、アルバック九州の匠が生み出すマテリアルを工程に応じてご説明していきます!

匠が生み出すマテリアル

アルバック九州では、「低パーティクル」「均質な膜厚分布」を追求して、材料ごとに製造方法を検討することで、高品質なスパッタリングターゲットを開発・製造しています。
これが、いわゆるターゲット材です。
スパッタリングは先程説明しましたね。詳細はこのスパッタリングの原理原則説明したページに載っています。真空空間を使って、フラットパネルディスプレイ、半導体の基板などを作っています。

高純度、低パーティクル?

スパッタリングターゲットは、半導体や液晶に使われる場合、数ミクロン以下の多層薄膜の小さな電気回路を形成させます。電流を流したり、ON-OFFさせる機能が求められますが、使われるスパッタリングターゲット材料に不純物があった場合、その機能が果たせません。このため、高純度の材料が不可欠です。
パーティクルは、いわゆるミクロサイズの小さなゴミです。このゴミが、形成された電気回路の多層膜の中に入ると、電気のON-OFFが出来なくなったりして、やはりその機能が果たせません。この様な事から半導体や液晶にとって不純物とパーティクルは天敵です!

均質な膜厚分布?

アルバック九州の高純度半導体用ターゲットは、金属組織の微細、均質化に留意した製造プロセスを採用し、エロージョン領域の拡大による使用効率向上や、より均質な膜厚分布が得られるものになっています。

  • パーティクル

    パーティクルとは、おおまかに言えばゴミのこと。ゴミの発生を制御することで、純度・密度共に高いターゲット材を造ることにつながります。

  • エロージョン

    エロージョン領域とは、スパッタリング現象によりターゲット構成元素がはじき飛ばされてターゲットが消耗する範囲のことです。

  • 高純度

    高純度とは、簡単にいうと不純物が少なく主成分の割合が高いことです。究極の高純度は主成分100%です。

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それでは、このマテリアル部門、匠たちが活躍している様子を工程に合わせて解説していきます。
「精製」「溶解」「砕く」「混ぜる」「固める」「焼く」「研磨」「接合」
それでは以下からどうぞ。