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ドライ真空ポンプ

  • ＧＲシリーズ
    （一般産業用）

    ＧＲシリーズ（一般産業用）

  • LR/HR/URシリーズ
    （半導体液晶装置用）

    LR/HR/URシリーズ（半導体液晶装置用）

油回転真空ポンプ

  • ＶＤシリーズ Ｖｅｒ．Ｃ
    （ベーン型小型２段式）

    ＶＤシリーズ Ｖｅｒ．Ｃ（ベーン型小型２段式）

  • ＶＳシリーズ
    （ベーン型中型１段式）

    ＶＳシリーズ（ベーン型中型１段式）

  • ＰＶＤシリーズ
    （汎用ベーン型小型２段式）

    ＰＶＤシリーズ（汎用ベーン型小型２段式）

  • ＰＫＳシリーズ
    （堅牢キニー型大型１段式）

    ＰＫＳシリーズ（堅牢キニー型大型１段式）

メカニカルブースターポンプ

  • ＰＲＣシリーズ
    （高気密性モータ）

    ＰＲＣシリーズ（高気密性モータ）

  • ＰＭＢシリーズ Ｖｅｒ．Ｄ
    （汎用モータ）

    ＰＭＢシリーズ Ｖｅｒ．Ｄ（汎用モータ）

真空ポンプ オプション部品

  • ダスト・フィルタＤＳシリーズ

    ダスト・フィルタＤＳシリーズ

  • オイルミストトラップ
    ＴＭ/ＴＭＸシリーズ

    オイルミストトラップＴＭ/ＴＭＸシリーズ


真空配管部品