真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

研究開発実験装置(QAM)

Comapact Assemle Matrix-4 QAM-4 紹介動画公開中!

アルバック九州では、真空技術を結集させた、研究開発実験装置「QAM」シリーズを製作しています。
文章だけでは伝えきれない、QAMの機能や魅力を視覚的にまとめた動画を作成しました。
スパッタリングについて、QAMの動作について、ぜひ御覧ください。
ご興味を持たれた方、ご不明な点が有る方はお問い合わせ下さい

Comapact Assemble Matrix QAM 研究開発実験装置

As you like おもいのままに!!

QAMはパフォーマンスを追求し続けています。

1.

最短で目標真空度に到達!!

  • 所定圧力に入らなく、リークテストをしたらリークしていた事がありませんか?
  • 超高真空を実現する為に時間をかけ、
    試行錯誤したことはありませんか?

徹底的な検証から最適条件を導き出したレシピが、このアルバック九州のQAMにはあります。このレシピに従いながら超高真空をつくることができます。

最短で目標真空度に到達!!

2.

適切な温度管理!!

  • 設定温度に対してオーバーシュートすることがありませんか?
  • 設定温度までの昇温時間が長いと感じたことはありませんか?
  • 設定温度に達した後に、
    温度が安定しないことがありませんか?
  • 制御用熱電対が安定しているのに、実際の基板温度が安定しないような挙動はありませんか?

徹底的な検証から最適な条件を導き出し、ソフト情報としてご提供いたします。

適切な温度管理!!

3.

成膜管理を実現!!

  • 「放電が不安定」ということがわからないままで、成膜を継続したことはありませんか?
  • 成膜積算時間が管理されておらず、バッキングプレートまでスパッタされたことはありませんか?

管理ソフトを装備しています。

4.

見える化!!

  • 手動運転でのミスで、装置を破損、
    故障させたことはありませんか?
  • 手動操作のため、装置につきっきりになり、
    他の作業が出来なかったことは
    ありませんか?
  • アラームが出ているのに、何が異常か
    わからないことはありませんでしたか?
  • 装置の運転状況を遠隔で見たいと
    思ったことはありませんか?

全自動制御方式を採用し、異常が発生した場合に状態を表示する機能を有しています。
また、装置状況(プロセス状況、アラーム等)を遠隔でリアルタイムに確認できるソフトをオプションでご用意しております。

自動制御の様子を動画でご紹介
遠隔モニタリングシステム(オプション)
遠隔モニタリングシステム(オプション)

QAMという装置は、「使いやすい」を実現した、
アルバック九州のオリジナル、こだわりの製品です。