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真空蒸镀

气相沉积

下面介绍一下在真空状态下进行生产的工业技术。
主要有真空蒸镀、真空溅射镀和磁控溅射镀。
首先,请大家记住真空室这个概念,真空状态的密闭容器被称为真空室。

什么是真空蒸镀?

真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。
凝聚成的薄膜,英文写作Thinfilm。是蒸镀之后在基板上产生的原子层。

有关蒸镀环境。
在正常环境中,也就是在大气环境中进行蒸镀时,蒸发的铝原子会与大气中的气体分子碰撞,坠落到底部或侧面,不能到达(粘附到)顶部的基板。

沉积在大气中

当在真空室中进行蒸镀时,由于真空室中的气体分子较少,铝原子与气体分子碰撞的风险降低,运动距离变长,到达(粘附到)顶部基板的几率变大。

沉积在真空室中
水壶盖上的水滴插图

化学でいう雰囲気は、普段の雰囲気とちがう!?

アルゴン雰囲気って言葉知っていますか?
ここで用いられる雰囲気は、楽しそうとか御祝いするなどというムードとかではなく、その物質のみで満たすという意味です。
つまり、アルゴン雰囲気であれば、アルゴンガスだけで満たした状態です。
決して、アルゴンなムードじゃないです。と言うかどんなムードか分かんないですよね?