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溅射

溅射

我们总结了一些在真空中才会出现的现象。
接下来介绍溅射。英语写作sputtering。
大家对这个词可能不太熟悉。sputter是指发出“啪啪啪”的弹跳声,sputtering表示溅射的意思。

什么是溅射?

溅射,是指在充满惰性气体(如Ar(Argon))的空间内,通过施加高电压向材料(目标)放电,将氧化铝电击成原子与目标碰撞,使目标的原子脱落,粘附在基板上形成薄膜的过程。

怎样进行溅射镀膜呢?

• 目标 = 铝。

  • 电子在电场E的作用下,在飞向基板过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子。
  • 新电子飞向基板,Ar正离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。
溅射原理

氩气是什么?

氩气是一种惰性气体。
• 氧气是活泼气体。比如铝和氧气会发生反应,但和氩气不发生反应。

什么是阿贡? 插图

• 靶材
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。

• 氩气
为防止溅射过程中材料与大气进行反应,需要在真空室内冲入惰性气体氩气。在工业上通常用氮气和氩气来做保护气。但是氮气在高温条件下性质会变活泼,所以选用氩气更为保险。氩气在空气中只含有百分之一。

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