真空泵,真空技术下一代。 ULVAC KYUSHU CORPORATION

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干式真空泵 LR/HR/UR 系列

干式真空泵LR/HR/UR系列

产品特性

  • 低温泵(LR系列)

    对应PVD工艺,排气时间缩短。

  • 高温泵(HR系列,UR系列)

    对应CVD工艺和刻蚀工艺。与HR系列相比,UR系列可以承受更高温度。

  • 优良的氦气抽气能力

    罐装电机,安全,方便维修。

  • 电源故障保护

    泵能承受高达1000毫秒的电源中断。

  • 优异的耐腐蚀性

    内部部件经过特殊处理,表面硬度高,耐腐蚀性能好。这样可以防止内部泵部件在暴露在腐蚀性气体中时发生磨损和腐蚀。

  • 通信功能

    可输出水泵数据,包括警告和警报。可计算机监控。

  • 支持CE功能

    可根据要求设置CE功能。

产品应用

  • 活性气体排气(CVD、干腐蚀等)

  • 惰性气体排气(溅射、蒸镀、热处理等)

  • 缩短充电和排气时间(LR系列)

  • 粉末产生的过程中的排气(Si单结晶提高等)

  • 辅助排气泵(涡轮分子泵、机械增压泵辅助排气)

产品参数

规格 规格 规格

排气速度曲线

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