真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

ドライ真空ポンプ LR/HR/URシリーズ

ドライ真空ポンプ LR/HR/URシリーズ

特 徴

  • 低温領域で均熱化(LRシリーズ)

    PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適。

  • 高温領域で均熱化(HRシリーズ・URシリーズ)

    CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能。URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。

  • ヘリウムタイト

    キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。

  • 瞬停対策

    1000msec以内の瞬停対策を施しています。

  • 優れた耐食性

    主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。

  • 通信機能

    ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング/アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能。

  • CE対応可能

    CE対応はご発注時のご指定によるオプションになります。

用 途

  • 活性ガス排気(CVD、ドライエッチング等)

  • 不活性ガス排気(スパッタ、蒸着、熱処理等)

  • 仕込み取り出し室の排気時間短縮(LR シリーズ)

  • 粉体の発生するプロセスでの排気(Si 単結晶引き上げ等)

  • 補助排気ポンプとして(ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

仕 様

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排気速度曲線

排気速度曲線 排気速度曲線 排気速度曲線