ドライ真空ポンプ GRシリーズ
特 徴
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大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。
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高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適。
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汎用インダクションモータに対応。防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能（オプション）
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マルチ電圧対応モータを採用。
ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください。（GR180Aは共通モータです）
用 途
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エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
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各種成膜装置の仕込取出室の排気
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真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途
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断熱やガス充填などの真空ガス置換
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ガスバラスト機構を使用すると水蒸気排気が可能
排気速度曲線
仕 様
モータ
