真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

メカニカルブースターポンプ PRC シリーズ

メカニカルブースターポンプ  PRC シリーズ

特 徴

  • オイルフリー

    ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。

  • キャンドモータ採用

    キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。

  • 耐腐食性に優れた表面処理

    主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。

  • 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型(オプション:インバータ)

    粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

用 途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング

  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気

  • 分析機器、リークテスト装置

  • ガス置換、充填、真空断熱

  • 熱処理炉、溶解炉

  • その他各種真空装置

仕 様

仕様

排気速度曲線

排気速度曲線 排気速度曲線