真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

油回転真空ポンプ VDシリーズ Ver.C

油回転真空ポンプ VDシリーズ Ver.C

特 徴

  • ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用

    200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータで対応可能としました。

  • 強制給油方式の採用

    大気圧付近でも排気速度が安定しています。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。

  • 特殊用途向けにもオプション対応

    標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様・B仕様・H仕様)を用意しました。

用 途

  • 蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置

  • 分析機器・リークテスト装置

  • ガス置換・液体注入

  • 真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空断熱

  • 真空吸着・真空成型

  • その他各種真空装置

特殊用途向けのオプション仕様

特殊用途向けのオプション仕様

仕 様

仕様

排気速度曲線

排気速度曲線 排気速度曲線