真空ポンプ、真空技術を次世代に。アルバック九州株式会社

油回転真空ポンプ VS1501/VS2401

油回転真空ポンプ VS1501/VS2401

特 徴

  • 低振動

    ぺーン型構造により高速化(50Hz:1500rpm)を達成。振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減。大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の 2階、3階への設置が容易。〔当社比 回転数3倍 振幅70%低減〕

  • 軽量・コンパクト

    当社同クラスのPKS-030ポンプに比べ、VS2401は質量で約35(40)%減、所要床スペースで約20(30)%減、全高では約50 %減と軽量・コンパクト。()内はVS1501

  • 低騒音を実現

    到達圧力時の運転音を低減する機構を採用することにより、74dB(A特性)と低騒音化を達成。(到達圧力時、オイルミストトラップ有、ポンプ側方1mでの測定値)

  • 優れたメンテナンス性

    日常点検がしやすいように油確認、油補充、油交換の方向を統一。油の補充期間を延長するために8~10.5Lの可変油量式を採用

用 途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング

  • 真空包装、真空吸着・搬送、真空成形、真空鋳造

  • 真空含浸、真空鋳造

  • 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉

  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気

  • ガス置換、充てん、真空断熱

  • リークテスト装置、その他

仕 様

仕様

排気速度曲線

排気速度曲線 排気速度曲線