真空ポンプ
ポンプとは？どういう意味ですか？
真空もなんとなくわかった。ポンプもなんとなくイメージできる。だけど真空ポンプっていう言葉が掛け合わさると、「？」となりませんか？
でも冷静に考えるとイメージできます。
一般的なポンプは、液体・気体の圧力を高めたり、減圧したりして、移動させるものです。
なので、真空ポンプはチャンバー内の大気を外部に送り出す働きをします。
真空ポンプは、
特定の環境から気体を排出して
真空という環境を作り出すための
ポンプです。
- 吸気口
- 気体の吸気口で、チャンバー側に接続されます。
- 排気口
- チャンバー等から排出された気体は、排気口より排出されます。
- ポンプ
-
気体の排気動作を行う大元の部分。
ポンプも多種あるので、排気方法、排気性能等に応じ使い分けが必要です。
ポンプによっては大気圧以下でないと作動しないものもあり、
その際は補助ポンプ＋メインポンプの組合せで排気します。
どの程度の真空度を必要とするのか、排気する気体の種類、排気量、 使用材料などによって、必要となるポンプの性能が異なります。
真空状態に合わせて、求められるポンプが異なります。
組合せも変わりますので、用途に合ったポンプを選ぶことが重要です。
