真空泵,真空技術下一代。 ULVAC KYUSHU CORPORATION

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工匠創造的材料

什麼是材料?

由大師創造的材料。材料!材料?材料是什麼意思?
如果你查字典,它出來與物質,材料和材料。是材料,不是嗎?作為一個容易想像的單詞。在日本,使用”材料”作為處理材料的公司的一部分,使用日本製造的英語。
同樣,在這個”大師產生的材料”中,我們將根據過程描述ULVAC九州的材料和ULVAC九州工匠生產的材料!

由大師創造的材料

在ULVAC九州,我們通過研究每種材料的製造方法,開發和生產高品質的濺射靶,以追求”低顆粒”和”均勻薄膜厚度分佈”。
這就是所謂的目標材料。
濺射,你剛才解釋。詳細資訊位於描述此濺射原理的頁面中。我們使用真空空間製造平板顯示器和半導體基板。

高純度,低顆粒?

當濺射目標用於半導體或液晶時,它形成多層薄膜的小電路,小於幾微米。電流流動和開-關功能是必需的,但如果使用的濺射目標材料中存在雜質,則無法執行該功能。因此,高純度材料至關重要。
粒子是所謂的微尺寸的小垃圾。當這些垃圾進入形成電路的多層膜時,電力的開關變得不可能,並且其功能仍然無法發揮。因此,雜質和顆粒是半導體和液晶的天敵!

均勻薄膜厚度分佈?

ULVAC九州的高純度半導體目標採用製造工藝,考慮到金屬組織的精細和均質化,通過擴大Erororoon區域來提高使用效率,並實現更均勻的薄膜厚度分佈。

  • 粒子

    粒子是一般垃圾。通過控制垃圾的產生,我們創造了高目標材料,同時具有純度和密度。

  • 埃洛瓊

    梯形區域是濺射現象導致目標元素被飛散和消耗的區域。

  • 高純度

    高純度,簡單地說,雜質是低的,主要成分的比例是高的。終極高純度是100%的主要成分。

  •  

因此,我們將根據流程解釋材料部門和大師如何發揮積極作用。
“純化”、”溶解”、”粉碎”、”混合”、”硬化”、”烘烤”、”拋光”和”粘接”
因此,請從以下。