真空泵,真空技術下一代。 ULVAC KYUSHU CORPORATION

Language

磁控濺射

磁控濺射

在這裡,我們總結了真空背後的原則。
最後,我們將討論磁控濺射。磁控管濺射也稱為磁電管。磁控濺射比普通濺射更像應用,提高了品質和精度。

什麼是磁控濺射?

使用磁鐵將電子包圍在磁場中,可以製造較深的等離子體區域,增加氧化鋁原子與目標碰撞的可能性,並加快附著在基板上的速度。
這稱為磁控濺射,現已成為濺射的主流。

自由移動的電子在磁通量時處於高密度狀態。電子密度高表示存在許多”Ar+”。
當電子被撞時,阿貢變成了”Ar+”+”e-“。例如,如果電子不一,它擊中Argon,只有一個”Ar+”,但10個可以。
這意味著,如果電子密度增加,”Ar+”密度也會增加。增加”Ar+”密度會增加目標”Ar+”的數量。鋁從目標中跳出來。因此,薄膜的速度會更快。你可以儘快把它帶到目標的厚度。

磁控濺射也稱為高速率濺射。

磁控濺射 為什麼使用磁鐵可以有效地將材料連接到基板上? 插圖