真空泵,真空技術下一代。 ULVAC KYUSHU CORPORATION

Language

濺射

濺射

我們總結了一些在真空中才會出現的現象。
接下來介紹濺射。英語寫作sputtering。
大家對這個詞可能不太熟悉。sputter是指發出“啪啪啪”的彈跳聲,sputtering表示濺射的意思。

什麼是濺射?

濺射,是指在充滿惰性氣體(如Ar(Argon))的空間內,通過施加高電壓向材料(目標)放電,將氧化鋁電擊成原子與目標碰撞,使目標的原子脫落,粘附在基板上形成薄膜的過程。

怎樣進行濺射鍍膜呢?

• 目標 = 鋁

  • 電子在電場E的作用下,在飛向基板過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子
  • 新電子飛向基板,Ar正離子在電場作用下加速飛向陰極靶,並以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。
濺射原理

氬氣是什麽?

氬氣是一種惰性氣體。
• 氧氣是活潑氣體。比如鋁和氧氣會發生反應,但和氬氣不發生反應。

什麼是阿貢? 插圖

• 靶材
鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。

• 氬氣
為防止濺射過程中材料與大氣進行反應,需要在真空室內沖入惰性氣體氬氣。在工業上通常用氮氣和氬氣來做保護氣。但是氮氣在高溫條件下性質會變活潑,所以選用氬氣更為保險。氬氣在空氣中只含有百分之一。

基裡島