真空泵,真空技術下一代。 ULVAC KYUSHU CORPORATION

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幹式真空泵 LR/HR/UR 系列

幹式真空泵 LR/HR/UR 系列

產品特性

  • 低溫泵(LR系列)

    對應PVD工藝,排氣時間縮短。

  • 高溫泵(HR系列、UR系列)

    對應CVD工藝和刻蝕工藝。與HR系列相比,UR系列可以承受更高溫度。

  • 優良的氦氣抽氣能力

    罐裝電機,安全,方便維修。

  • 即時停止措施

    在1000毫秒內進行即時停止措施。

  • 優異的耐腐蝕性

    內部部件經過特殊處理,表面硬度高,耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕。

  • 通信功能

    可輸出水泵數據,包括警告和警報。可計算機監控。

  • 支持CE功能

    可根據要求設置CE功能。

產品應用

  • 活性氣體排氣(CVD、幹蝕刻等)

  • 惰性氣體排氣(濺射、蒸鍍、熱處理等)

  • 縮短充電和出口室的排氣時間(LR 系列)

  • 粉末產生的過程中的排氣(Si單結晶提高等)

  • 輔助排氣泵(渦輪分子泵、機械增壓泵輔助排氣)

產品參數

規格 規格 規格

排氣速度曲線

排氣速度曲線 排氣速度曲線 排氣速度曲線